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1. 中国的光刻机在哪里?

1、中国的光刻机在哪里?

中国有光刻机，位于我国上海的*EE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

华为的光刻机在中国。拓展知识：华为技术有限公司，成立于1987年，总部位于广东省深圳市龙岗区。 2021年，华为公司的总收入为6368亿元，净利润达到1137亿元。

位于我国上海的*EE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机，分辨率通常在数微米以上。

上海微电子装备有限公司。上海微电子装备有限公司成立于2002年3月，截止2023年6月9日，是国内唯一能够做光刻机的企业，上海微电已经量产的光刻机中，性能最好的是SSA600/200工艺。

中国有自己的光刻机，由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收，这是世界上首台用紫外光实现了22nm分辨率的超分辨光刻装备，为纳米光学加工提供了全新的解决途径。

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