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1. 极紫外光源中国能生产吗

1、极紫外光源中国能生产吗

中国科学院副院长王恩哥表示，极紫外电子激光装置也就是“大连光源”的建设，是中国科学院乃至我国的又一项具有极高显示度的重大科技成果，装置中90%的设备均由我国研发，标志着我国在这一领域占据了世界领先地位，为我国未来发展更新一***的高重复频率极紫外**电子激光打下了坚实的基础。

近年来，中国科技行业受到国外严重打压，尤其是电子芯片成为我国半导体领域最突出的短板。生产芯片最重要的设备是光刻机，世界上先进的光刻机主要由荷兰一家名为阿斯麦（A*L）的公司制造，市场占有率超过80%。其中最先进的极紫外光刻机（EUV光刻），全世界只有A*L一家公司能制造。

上海微电子装备有限公司。上海微电子装备有限公司成立于2002年3月，截止2023年6月9日，是国内唯一能够做光刻机的企业，上海微电已经量产的光刻机中，性能最好的是SSA600/200工艺。

年1月15日。新华社大连2017年1月15日电，中国科学院研制的“大连光源”15日发出了世界上最强的极紫外**电子激光脉冲，单个皮秒激光脉冲产生140万亿个光子，成为世界上最亮且波长完全可调的极紫外**电子激光光源。

但是事实却并非如此，据后来该论文的通讯作者刘前在接受媒体***访时表示，中科院研究的5nm光刻制备技术针对的是光掩膜的生产，而不是光刻机用到的极紫外光。也就是说，中科院发表论文不等同于国产光刻机技术达到了5nm水平。

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